Capteur de pression CMR 273 : précision et fiabilité pour les environnements sous vide
Le capteur CMR 273 de Pfeiffer Vacuum est conçu pour la mesure absolue de la pression dans les systèmes sous vide, avec une plage de mesure allant de 10⁻³ à 11 mbar. Ce capteur utilise un diaphragme capacitif en céramique d’oxyde d’aluminium, associé à une électronique de conversion qui transforme le signal capacitif en une sortie linéaire en tension continue. Cette linéarité garantit une lecture fiable et reproductible, sans dépendance au type de gaz mesuré, ce qui le rend particulièrement adapté aux environnements multigaz ou aux procédés complexes.
Grâce à sa conception compacte et à sa faible sensibilité aux vibrations, le CMR 273 peut être installé dans diverses orientations sans compromettre la précision de la mesure. Il est compatible avec les unités de mesure Pfeiffer Vacuum pour capteurs compacts, mais peut également être intégré à d’autres systèmes d’évaluation via un câblage personnalisé. Son temps de réponse rapide de 30 ms permet une surveillance dynamique des variations de pression, essentielle dans les procédés de contrôle en temps réel.
Instrumentation de vide haute précision pour les laboratoires et l’industrie
Le CMR 273 est particulièrement adapté aux applications nécessitant une grande précision dans les basses pressions, telles que les procédés de dépôt sous vide, les analyses spectrométriques ou les environnements de recherche scientifique. Sa stabilité thermique remarquable, avec une dérive de zéro inférieure à 0.0025 % F.S./°C, permet une utilisation fiable même dans des conditions de température fluctuante. De plus, sa construction en matériaux résistants à la corrosion, tels que l’acier inoxydable AISI 316L et la céramique Al₂O₃, assure une durabilité exceptionnelle face aux gaz agressifs ou aux contaminants.
Le capteur est protégé contre les inversions de polarité et les courts-circuits, et son signal de sortie est sécurisé pour les charges minimales de 10 kΩ. Il peut être utilisé jusqu’à une pression maximale de 1.3 bar absolu, et son volume interne réduit limite les effets de contamination. Pour optimiser les performances, il est recommandé de maintenir le capteur dans un état évacué lors des phases de mise à l’atmosphère du système.
Solution compacte pour la surveillance de pression dans les systèmes sous vide
Le CMR 273 offre une résolution de 0.0015 % F.S., ce qui permet une détection fine des variations de pression, même dans les plages les plus basses. Son design compact facilite l’intégration dans les installations existantes, et sa compatibilité avec différents types de brides (1/2", ISO-KF, CF-R, VCR) offre une flexibilité d’installation appréciable. En cas de besoin, le capteur peut être réajusté ou nettoyé selon les procédures spécifiées, sans intervention sur la chambre de mesure.
