Contrôleur de débit massique 1479A - État correct

MKS 1479A Mass-Flo Controller : un contrôleur de débit massique performant et fiable 

Le MKS 1479A est un contrôleur de débit massique spécialement conçu pour mesurer et réguler avec précision le débit de gaz dans une variété d’applications industrielles et scientifiques. Grâce à sa conception hermétique entièrement métallique, il évite les problèmes d’étanchéité souvent rencontrés avec les joints élastomères, garantissant ainsi une faible perméation et une excellente propreté.

Doté d’une technologie de capteur associée à une électronique de contrôle de vanne optimisée, le 1479A offre une réponse rapide aux consignes, ce qui permet une régulation efficace même sur des plages de débit très faibles. Sa conception intègre un élément de dérivation en parallèle avec un tube capteur pour assurer une indication précise du débit massique, tout en maintenant une grande stabilité face aux variations de température et d’altitude.

L’appareil est également équipé d’un blindage contre les interférences radiofréquences et électromagnétiques, ce qui le rend compatible avec des environnements électriquement bruyants. Il est certifié conforme à la directive EMC 89/336/EEC, garantissant des performances fiables dans des installations complexes. Le contrôleur peut être configuré avec plusieurs types de raccords et de connecteurs pour s’adapter aux besoins spécifiques de chaque application.

Conçu pour fonctionner en association avec d’autres équipements MKS, tels que les alimentations et unités de lecture, le 1479A peut être intégré dans des systèmes complets pour l’affichage, l’alimentation et la génération de consignes. Sa compatibilité avec différents dispositifs et ses dimensions compactes (empreinte de trois pouces) facilitent son intégration dans des espaces restreints.

Le MKS 1479A est idéal pour les laboratoires, les installations de semi-conducteurs, les procédés sous vide et d’autres applications où la précision et la fiabilité sont essentielles. Sa conception assure une faible génération de particules et un faible dégazage, rendant ce contrôleur adapté aux environnements propres et aux applications critiques.

• Précision : ±1 % de l’échelle pleine
• Plages de débit (équivalent N2) : 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10 000, 20 000 sccm
• Répétabilité : ±0,2 % de l’échelle pleine
• Résolution de mesure : 0,1 % de l’échelle pleine
• Temps de stabilisation : inférieur à 2 secondes
• Température de fonctionnement : 0 °C à 50 °C
• Pression d’entrée maximale : 250 psig
• Pression différentielle opérationnelle : 10 à 40 psid (≤ 5000 sccm), 15 à 40 psid (10 000 et 20 000 sccm)
• Alimentation : ±15 VDC (±5 %) @ 200 mA (démarrage)
• Coefficient de pression : 0,02 % lecture/psi
• Temps de préchauffage : 2 minutes pour atteindre un état stable
• Compatibilité CE : conforme à la directive EMC 89/336/EEC